硅基(001)取向Pb(Mn1/3Nb2/3)O3-Pb(Zr,Ti)O3薄膜的制备及其铁电性能研究

• 作者: 张程浩 李明勇 狄杰建 王大伟 谭培培 谭晓兰 赵全亮
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 锰铌锆钛酸铅 镍酸镧 铁电性能 磁控溅射
• 年，卷（期）: 2016,（8）
• 页码范围: 2056-2060
• 页数: 5页
• 分类号: O484
• 字数: 2527字
• 语种: 中文

摘要

采用磁控溅射法在LaNiO3/Si衬底上制备了6％Pb(Mn1/3Nb2/3)O3-94％ Pb(Zr0.52 Ti0.48) O3 (PMnN-PZT)铁电薄膜,对其微结构和铁电特性进行了研究.结果表明,该铁电薄膜呈(001)高度择优取向,取向度高达98％.经过1010次铁电循环测试,铁电薄膜无疲劳现象;在104 s时间内,薄膜的铁电保持和印记特性稳定,无明显退化.该结果说明LaNiO3氧化物电极会降低PMnN-PZT薄膜的氧空位浓度,有效地缓解了电荷注入的问题,因此改善了PMnN-PZT薄膜的铁电性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谭晓兰	北方工业大学机械与材料工程学院	38	251	8.0	15.0
2	狄杰建	北方工业大学机械与材料工程学院	23	200	6.0	14.0
3	赵全亮	北方工业大学机械与材料工程学院	15	24	3.0	3.0
4	张程浩	北方工业大学机械与材料工程学院	3	0	0.0	0.0
5	谭培培	北方工业大学机械与材料工程学院	2	0	0.0	0.0
6	王大伟	北方工业大学机械与材料工程学院	12	35	4.0	5.0
7	李明勇	北方工业大学机械与材料工程学院	3	2	1.0	1.0