PVD涂层技术制备类金刚石薄膜及性能研究综述

• 作者: 吴雁 张而耕 李艳峰 赵杰
• 来源期刊: 表面技术
• 学科: 工学
• 关键词: 类金刚石 摩擦系数 结合力 物理气相沉积
• 年，卷（期）: 2016,（8）
• 所属期刊栏目: 膜层材料与技术
• 页码范围: 115-123
• 分类号: TG174.442
• 语种: 中文
• DOI: 10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2016.08.020

摘要

介绍了采用物理气相沉积(PVD)技术制备类金刚石涂层的方法,进而论述了涂层的摩擦磨损和结合力等性能的研究现状和发展前景.分析并综述了类金刚石涂层的技术发展,以及制备类金刚石薄膜的方法和影响其性能的多种要素.表面涂有类金刚石薄膜的工件具有较高的硬度、良好的热传导率、极低的摩擦系数、优异的电绝缘性能等.类金刚石薄膜(DLC Films)是近年来兴起的一种以sp3和sp2键的形式结合生成的亚稳态材料,因其优异的减摩和抗磨性能,在摩擦学领域获得了广泛应用,是一种与金刚石涂层性能相似的新型薄膜材料.DLC涂层的性能研究大多集中在它的摩擦学特性和结合力性能,并且作为优质的涂层材料已被广泛应用于汽车、模具、刀具等领域.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张而耕		42	173	8.0	11.0
2	吴雁		33	99	6.0	8.0
3	赵杰		2	18	1.0	2.0
4	李艳峰		2	18	1.0	2.0