注塑模具型腔表面阵列微结构的蚀刻技术

• 作者: 杨权 郭钟宁 黄红光
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: 化学蚀刻 表面微阵列结构 蚀刻深度 侧蚀量 二次加工
• 年，卷（期）: 2016,（17）
• 页码范围: 2356-2360
• 页数: 5页
• 分类号: TH16
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-132X.2016.17.014

摘要

设计了一种简单的掩模，并通过控制蚀刻液的喷淋压力进行了平滑阵列微结构研究。研究发现，蚀刻液喷淋压力对微结构的加工形貌有显著影响，蚀刻深度和侧蚀量随蚀刻液喷淋压力增大而增大。研究整合了多次加工和控制喷淋压力的工艺，得到了理想的无棱边棱角、结构均匀的深度渐变型阵列微凸结构。最终在注塑模具表面上加工出宽度为200μm、深度约60μm 的无棱边棱角、过渡平滑的阵列微结构。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭钟宁		197	1090	16.0	23.0
2	杨权		5	3	1.0	1.0
3	黄红光		1	0	0.0	0.0