基于可重入加工组合设备的建模与调度研究

• 作者: 潘春荣 黎良
• 来源期刊: 系统仿真学报
• 学科: 工学
• 关键词: 晶圆制造 重入加工 组合设备 建模与仿真 调度
• 年，卷（期）: 2016,（4）
• 所属期刊栏目: 仿真建模理论与方法
• 页码范围: 772-782
• 分类号: TP278
• 语种: 中文

摘要

晶圆加工中越来越广泛地采用可重构的自动化组合设备,其单晶圆加工技术提高了晶圆制造的生产效率和加工质量.介绍了组合设备的结构特征及其加工过程运行的约束条件,由于晶圆重入加工需求的增加,组合设备的调度变得更加复杂.回顾了组合设备可重入加工过程的建模、性能分析及其调度等研究工作,分析了重入加工的Petri网建模,调度和控制方法的优劣性,并通过例子阐述了仿真调度的可行性.提出了组合设备重入加工运行控制的研究方法及未来的研究方向.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	潘春荣	江西理工大学机电工程学院	24	99	7.0	9.0
2	黎良	江西理工大学机电工程学院	6	24	3.0	4.0