小形变变形镜的设计及其在低像差脉冲压缩光栅中的应用

• 作者: 吴建宏 李朝明 王丹 陈新荣 韦晓茹
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 物理学
• 关键词: 变形镜 全息光栅 脉冲压缩光栅 压电促动器 响应函数 像差补偿
• 年，卷（期）: 2016,（12）
• 所属期刊栏目: 高功能激光光学元器件
• 页码范围: 2993-2999
• 页数: 7页
• 分类号: O439|O436
• 字数: 3112字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20162412.2993

摘要

考虑激光脉冲啁啾放大与压缩技术要求脉冲压缩光栅有较低的像差,设计并制作了一个小形变变形镜来补偿大口径光栅基板加工残余的亚微米级静态像差对光栅波像差的影响.该变形镜有效口径为80 mm、厚度为5 mm,包含19个分立式压电促动器.采用干涉仪测量得到各个促动器的响应函数,构建了变形镜的刚度矩阵;采用最小二乘法求解出获得目标面形时各个促动器上所需施加的控制电压;通过整体优化和局部优化的结合,使变形镜的目标面形得到了有效控制.应用该变形镜构建了主动式全息光学记录系统,并选用具有较大像差的基板开展了光栅像差补偿实验.实验显示,对残余像差为～0.93λ的基板,采用变形镜后制作出了残余波面PV可达0.14λ(@633 nm)的脉冲压缩光栅,验证了小形变变形镜在光栅基底像差补偿上的有效性.