微型折叠式三维电场传感器

• 作者: 夏善红 彭春荣 方东明 方奕庚 王宇
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 三维电场 三维组装 三维标定 柔性折叠 MEMS电场传感器
• 年，卷（期）: 2016,（5）
• 所属期刊栏目: 设计与制造
• 页码范围: 67-69,73
• 页数: 4页
• 分类号: TP212
• 字数: 1553字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13873/J.1000-9787(2016)05-0067-03

摘要

提出一种基于柔性衬底和三维组装方法的新型三维电场传感器.利用柔性衬底的折叠,构建一种互相垂直的新型三维电场传感器,研究了测量空间电场时的耦合,提出解耦算法,标定灵敏度矩阵,实现了空间电场三个方向分量的准确测量;通过一系列的温湿度实验研究了三维结构的形变,证明了三维电场传感器结构稳定可靠.实验结果表明:所研制的三维电场传感器不仅能消除耦合干扰,实现空间电场分量的准确测量,测量误差在3.61％以内;而且通过新的三维组装方法,大大减少了三维电场传感器的质量、体积,折叠工艺简化了三维传感器的组装,有利于批量化生产.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	夏善红	中国科学院电子学研究所	111	654	14.0	18.0
2	王宇	中国科学院电子学研究所	211	1906	23.0	32.0
6	彭春荣	中国科学院电子学研究所	23	124	8.0	9.0
7	方东明	中国科学院电子学研究所	8	129	7.0	8.0
8	方奕庚	中国科学院电子学研究所	1	8	1.0	1.0