氧碘化学激光器腔镜表面缺陷的观察与分析

• 作者: 公发全 李艳娜 王刚 陈真
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 氧碘化学激光器 腔镜 表面缺陷 腔镜污染,熔融损伤 激光辐照
• 年，卷（期）: 2016,（12）
• 所属期刊栏目: 高功能激光光学元器件
• 页码范围: 2948-2955
• 页数: 8页
• 分类号: TN248.5|O484.4
• 字数: 3082字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20162412.2948

摘要

为了明确氧碘化学激光器腔镜损伤的原因,对腔镜表面的缺陷进行了研究.利用扫描探针显微镜观察了激光器腔镜表面缺陷,分析了腔镜表面微观形貌,讨论了常见缺陷的形状及成因.然后,建立了简化的带污染物腔镜的模型.利用COMSOL Multiphysics软件对环形光束辐照腔镜进行了仿真计算.最后,给出了缺陷大小、功率密度和腔镜表面温度的关系,分析了吸附层对腔镜熔融损伤的影响.计算结果表明:腔镜表面污染物大小不变时,激光辐照的功率密度越大,温度增长越快,薄膜表面越容易出现熔融损伤;腔镜表面污染物半径达到2.3 mm时,腔镜薄膜即可出现熔融损伤.另外,吸附层吸收系数增加1％,腔镜最高温度增加约210 K.本文所得结论可为分析腔镜损伤原因和制定腔镜更换依据提供参考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王刚		164	1405	19.0	32.0
5	公发全	中国科学院大连化学物理研究所	9	15	2.0	3.0
6	李艳娜		5	14	2.0	3.0
7	陈真		1	0	0.0	0.0