多级真空发生器的抽气性能研究

• 作者: 李昊军 滕燕
• 来源期刊: 机械制造与自动化
• 学科: 工学
• 关键词: 多级真空发生器 真空元件 流量特性 吸附响应时间
• 年，卷（期）: 2016,（6）
• 页码范围: 229-232,238
• 页数: 5页
• 分类号: TP391.9
• 字数: 3881字
• 语种: 中文

摘要

与单级真空发生器相比，多级真空发生器具有抽气能力较强的优势，然而目前工业生产中真空发生器的选型比较盲目，为了定量地描述多级真空发生器的抽气特性，对真空发生器的选型提供一定参考。首先对三级真空发生器的静态流量进行了研究，给出多级真空发生器的真空输出端压力与流量的数学关系式；其次，结合容腔在无流阻和有流阻两种情况下，密闭容腔放气的数学模型，最终得出三级真空发生器在无流阻和有流阻两种情况下，真空度随时间的变化规律。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	滕燕	南京理工大学机械工程学院	29	115	7.0	8.0
2	李昊军	南京理工大学机械工程学院	1	0	0.0	0.0