脉冲光纤激光控制断裂切割超薄钛酸锶陶瓷基片

• 作者: 任庆磊 江伟 翁清 胡伟 谢小柱 魏昕
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 激光技术 激光控制断裂切割 光纤激光器 软脆材料 钛酸锶陶瓷
• 年，卷（期）: 2016,（5）
• 所属期刊栏目: 激光加工与应用
• 页码范围: 85-93
• 页数: 9页
• 分类号: O436|TN249
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201643.0503008

摘要

钛酸锶陶瓷是软脆难加工的材料,机械加工容易导致表面产生划痕和破裂.采用主控振荡器的功率放大器(MOPA)脉冲光纤激光控制断裂切割钛酸锶陶瓷基片,通过实验得到了激光控制切割机理.首先用激光扫描去除材料,形成应力槽;随着扫描次数的增加,切槽深度增加;热应力达到该材料的断裂阈值,使裂纹沿应力槽扩展,直至完全断裂.该过程属于自适应裂片,无需后续裂片工艺.此外还发现在激光烧蚀材料过程中出现表面平坦化现象.通过选择合适的工艺参数,可以实现0.3 mm厚钛酸锶陶瓷基片的成形切割.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谢小柱		73	422	11.0	16.0
2	胡伟		57	313	10.0	14.0
3	魏昕		111	782	15.0	22.0
4	任庆磊		13	16	3.0	3.0
5	江伟		9	14	3.0	3.0
6	翁清		1	0	0.0	0.0