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摘要:
针对我国惯性约束聚变装置(ICF)对高性能传输反射镜元件的性能要求,探索了大口径传输反射镜制备涉及的关键技术与工艺.深入开展了K9玻璃坯片研制、光学冷加工、传输反射镜镀膜和激光预处理等方面的研究工作.提出了400mm口径K9反射类坯片精密退火工艺,形成了高精度平面加工技术路线;制备了低缺陷薄膜,并且建立了大口径光学元件预处理装置.最后,综述了大口径高性能传输反射镜研制方面的主要成果.研制的400mm口径传输反射镜在1053 nm处以45°入射时,其表面粗糙度优于99.8%,面形PV值小于λ/3(λ=1 053 nm),损伤阈值大于30 J/cm2(5 ns).基于提出的技术研制的大口径传输反射镜已成功应用于我国神光系列高功率激光装置,有力支撑了我国大型激光装置的稳定运行.
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内容分析
关键词云
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文献信息
篇名 大口径传输反射镜的研究进展
来源期刊 光学精密工程 学科 工学
关键词 传输反射镜 高功率激光器 K9玻璃 光学冷加工 镀膜技术 激光预处理 综述
年,卷(期) 2016,(12) 所属期刊栏目 高功能激光光学元器件
研究方向 页码范围 2902-2907
页数 6页 分类号 TN305.2|TH703
字数 3313字 语种 中文
DOI 10.3788/OPE.20162412.2902
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 王力军 72 635 14.0 20.0
2 易葵 中国科学院上海光学精密机械研究所 67 518 14.0 18.0
3 赵元安 中国科学院上海光学精密机械研究所 47 315 11.0 15.0
4 马平 54 355 11.0 15.0
5 邱红 4 7 2.0 2.0
6 朱美萍 中国科学院上海光学精密机械研究所 7 35 4.0 5.0
7 魏朝阳 中国科学院上海光学精密机械研究所 9 74 4.0 8.0
传播情况
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2019(2)
  • 引证文献(1)
  • 二级引证文献(1)
研究主题发展历程
节点文献
传输反射镜
高功率激光器
K9玻璃
光学冷加工
镀膜技术
激光预处理
综述
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
光学精密工程
月刊
1004-924X
22-1198/TH
大16开
长春市东南湖大路3888号
12-166
1959
chi
出版文献量(篇)
6867
总下载数(次)
10
总被引数(次)
98767
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