低温等离子体处理SF6废气综述

• 作者: 张晓星 肖焓艳 黄杨珏
• 来源期刊: 电工技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 低温等离子体 SF6 降解率 无害化
• 年，卷（期）: 2016,（24）
• 所属期刊栏目: 放电等离子体及应用专题
• 页码范围: 16-24
• 页数: 9页
• 分类号: O539
• 字数: 8306字
• 语种: 中文

摘要

低温等离子体废气处理技术正越来越引起人们的重视，它是未来环保产业的重要发展方向。由于强温室气体 SF6本身的理化特性，等离子体处理 SF6面临着更多的挑战，目前该方面的研究综述鲜见。本文尝试根据国内外已有的文献资料，阐述了等离子体处理SF6的反应机理和其三个评价指标，从射频、微波和介质阻挡放电三种主要的处理 SF6的等离子体出发论述了降解过程各个因素对降解率、能量效率以及最终降解产物的影响。同时，提出了等离子体处理 SF6需要进一步解决的问题和今后的研究方向，并对其工业化进行了可行性分析。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张晓星		28	64	3.0	8.0
3	黄杨珏	广东电网有限责任公司电力科学研究院	7	8	2.0	2.0
6	肖焓艳		1	0	0.0	0.0