微球探针制备工艺的优化

• 作者: 唐海容 许斌 赵世平 阳红
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: CO2激光 微探针 微球尖端 中心偏移
• 年，卷（期）: 2016,（8）
• 所属期刊栏目: 设计与制造
• 页码范围: 77-79
• 页数: 3页
• 分类号: TH711
• 字数: 2116字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13873/J.1000-9787(2016)08-0077-03

摘要

为了解决现有激光微球探针加工技术中存在的探针尖端微球球心偏离针杆中轴线的问题,提出了一个两步法加工策略.以CO2激光光束为热源,对探针针杆尖端进行加热,使针杆尖端受热融化产生微球.然后将带有微球的探针针杆绕其中轴线旋转180°,再使用CO2激光光束辐照带有微球的探针尖端,对尖端微球偏移量进行补偿.实验结果表明:采用“熔球-旋转再熔球”的两步法加工策略,能明显降低探针尖端微球相对于针杆的弯曲程度,缩小探针尖端球形球心和针杆中心线的偏移距离.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵世平	四川大学制造科学与工程学院	60	339	10.0	15.0
2	许斌	四川大学制造科学与工程学院	7	7	1.0	2.0
3	阳红	中国工程物理研究院机械制造工艺研究所	14	20	3.0	3.0
4	唐海容	四川大学制造科学与工程学院	2	1	1.0	1.0