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摘要:
设计了一种基于双级复合平行板簧结构的大行程二维并联微位移平台,以解决二维柔性平台尺寸大、行程小,运动耦合误差大,运动性能受加工误差影响等问题.设计的微位移平台在每个运动方向均采用两个音圈电机同时驱动,通过调节两音圈电机信号比例来补偿加工误差造成的运动耦合误差,完成X和Y方向的运动解耦,从而降低系统对加工精度的依赖程度.根据卡氏第二定理建立了平台力学模型,优化了平台尺寸参数,并利用有限元仿真对设计的平台性能进行验证.最后,搭建了微位移定位系统实验平台.实验结果表明:设计的柔性平台行程与平台尺寸占比大,定位精度高,运动解耦性能得到大幅改善,实现了±2.25 mm×士2.27 mm工作行程,工作行程与平台尺寸占比约为1.73%,运动耦合误差小于0.27%.
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文献信息
篇名 具有耦合补偿功能的大行程二维柔性平台
来源期刊 光学精密工程 学科 工学
关键词 大行程柔性平台 二维并联微位移平台 柔性板簧 加工误差 耦合补偿 运动解耦
年,卷(期) 2016,(4) 所属期刊栏目 微纳技术与精密机械
研究方向 页码范围 804-811
页数 8页 分类号 TH703|TP273
字数 3360字 语种 中文
DOI 10.3788/OPE.20162404.0804
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 闫鹏 山东大学机械工程学院高效洁净机械制造教育部重点实验室 27 192 8.0 13.0
5 刘鹏博 山东大学机械工程学院高效洁净机械制造教育部重点实验室 2 27 2.0 2.0
6 张立龙 山东大学机械工程学院高效洁净机械制造教育部重点实验室 1 7 1.0 1.0
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研究主题发展历程
节点文献
大行程柔性平台
二维并联微位移平台
柔性板簧
加工误差
耦合补偿
运动解耦
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
光学精密工程
月刊
1004-924X
22-1198/TH
大16开
长春市东南湖大路3888号
12-166
1959
chi
出版文献量(篇)
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