Bi1-xLaxFeO3±δ薄膜的快速制备及铁电性

• 作者: 张旭 朱北沂 石玉君 秦雷 竺云 袁洁 金魁
• 来源期刊: 物理学报
• 关键词: 高通量制备 溶胶凝胶法 Bi1-xLaxFeO3±δ薄膜 铁电性
• 年，卷（期）: 2016,（5）
• 所属期刊栏目: 物理学交叉学科及有关科学技术领域
• 页码范围: 325-331
• 语种: 中文
• DOI: 10.7498/aps.65.058101

摘要

样品的制备是对影响样品质量的各个工艺参数进行优化的过程.传统的试错法是对各个参数逐个进行尝试,需要的周期较长.与传统的单参数尝试法相比,高通量样品制备方法可以对参数实现并行筛选,因而极大地缩短了优化工艺所需的时间.本工作借助高通量制备方法成功实现系列镧掺杂BiFeO3薄膜的快速优化,包括对烧结温度、镧元素含量和高温固态反应气氛等关键工艺参数的快速筛选,同时分析了不同生长条件下样品的结构并测试了其铁电性.实验结果表明:1)560℃烧结可得到单相薄膜;2)测量不同La含量样品的铁电性,发现当E=75 kV/cm时,La=15％的样品剩余极化值(2Pr)最大,约为26.7 μC/cm2;3)在纯氧气氛下烧结有助于得到结晶性更好的单相Bi0.75La0.25FeO34±δ薄膜,并且能够提高薄膜的铁电性.