高数值孔径投影光刻物镜的光学设计

• 作者: 庞武斌 徐明飞 徐象如 王新华 黄玮
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 光学设计 高数值孔径(NA)投影光刻物镜 深紫外投影光刻物镜 远心度 曲面光阑
• 年，卷（期）: 2016,（4）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 740-746
• 页数: 7页
• 分类号: TN305.7|TH703
• 字数: 4665字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20162404.0740

摘要

针对45 nm节点投影光刻物镜的应用,开展了工作波长为193 nm的深紫外浸没式高数值孔径(NA)投影光刻物镜的研究和研制.设计了数值孔径(NA)为1.30的离轴三反射镜投影光刻物镜和NA为1.35的同轴两反射镜投影光刻物镜,并对两个设计方案的优劣进行对比分析,选择了同轴式结构作为最终的设计方案.分析了系统在不同NA情况下可变光阑与其远心度之间的关系,提出了用双可变曲面光阑的设计方案来优化系统的远心度.实验表明,应用本文设计方案,光刻物镜的波像差小于1 nm,畸变小于1 nm;新型的可变光阑使系统NA在0.85～1.35变化时的最大远心度由5.83～17.57 mrad降低至0.26～3.21 mrad.本文提出的设计方案为45 nm节点高数值孔径投影光刻物镜的研制提供了有益的理论依据和指导.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王新华	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	40	1076	16.0	32.0
2	黄玮	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	31	341	8.0	18.0
3	徐象如	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	4	18	2.0	4.0
7	徐明飞	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	6	14	3.0	3.0
11	庞武斌	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	4	17	3.0	4.0