基于光栅尺位移传感器的液晶玻璃基板在线厚度测量系统设计

• 作者: 周波 李青 陈俊
• 来源期刊: 制造业自动化
• 学科: 工学
• 关键词: 位移传感器 玻璃基板 测厚
• 年，卷（期）: 2016,（5）
• 所属期刊栏目: 检测与监控
• 页码范围: 21-23
• 页数: 3页
• 分类号: TN386.5|TP274.4
• 字数: 2320字
• 语种: 中文

摘要

针对原使用的激光三角法玻璃测厚系统的缺陷,分析了目前主流的各类测厚方法后,设计了一种新型的玻璃基板在线测厚系统,该系统采用一对光栅尺式位移传感器,增加外部触发采样功能,提高了采样间隔的精度,并利用SQL Server和C++ Builder开发了上位控制软件,具有数据和曲线存储显示功能。该系统经实践测试,能够在30秒内完成300个采样点的测量,测量精度达±0.002mm,能够消除玻璃基板的翘曲和晃动的影响。完全满足了目前液晶玻璃基板生产的品质保证要求。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李青		42	74	4.0	8.0
5	周波		14	24	3.0	4.0
9	陈俊		5	9	2.0	3.0