中能高浓度氦离子注入对钨微观结构的影响?

• 作者: 夏敏 燕青芝 葛昌纯 郭洪燕 郭立平 陈济红
• 来源期刊: 物理学报
• 关键词: 钨 中能高浓度氦离子 氦泡 显微结构
• 年，卷（期）: 2016,（7）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质:电子结构、电学、磁学和光学性质
• 页码范围: 077803-1-077803-9
• 页数: 1页
• 语种: 中文
• DOI: 10.7498/aps.65.077803

摘要

采用15 keV,剂量1×1017/cm2,温度为600?C氦离子注入钨,分别以块体钨研究氦离子对钨的表面损伤；以超薄的钨透射电镜样品直接注入氦离子,研究该条件下钨的微观结构变化,以了解氦离子与钨的相互作用过程；采用扫描电子显微镜、聚焦离子束扫描显微镜、透射电子显微镜、高分辨透射电子显微镜等分析手段研究氦离子注入对钨表面显微结构的影响及氦泡在钨微观结构演化中的作用。