焰熔法生长金红石单晶体生长室内温度分布的数值模拟

• 作者: 刘旭东 唐坚 孙旭东 毕孝国 蔡云平
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 焰熔法 金红石单晶体 生长室 温度分布
• 年，卷（期）: 2016,（1）
• 页码范围: 138-145
• 页数: 8页
• 分类号: O782
• 字数: 4055字
• 语种: 中文

摘要

以氢气和氧气的燃烧为基础,研究了焰熔法生长金红石单晶体过程中生长室内的温度分布特征,分析了H2和O2流量对温度分布的影响.结果表明:中心轴向温度随喷嘴距离的增加而升高,在距喷嘴92 mm处达到最高温度3290.3 K后开始下降;晶体熔帽径向温度随直径的增加逐渐减小,熔帽边缘温度则急剧升高;随着H2流量增加,生长室内中心轴向和径向温度逐渐增大,H2流量增加2L/min,中心最高温度平均升高130℃,最高温度的位置向下移3.1mm,晶体熔帽表面温度平均升高70℃;增加内O2和外O2流量均导致生长室内中心轴向和径向温度降低,而使晶体熔帽上的压力升高,外O2对温度的影响较大,而内O2对晶体熔帽压力的影响较大.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙旭东	东北大学材料与冶金学院	170	1880	22.0	36.0
2	刘旭东	沈阳工程学院能源与动力学院	37	151	6.0	9.0
3	毕孝国	沈阳工程学院能源与动力学院	56	193	7.0	9.0
4	唐坚	沈阳工程学院能源与动力学院	18	32	3.0	4.0
5	蔡云平	沈阳工程学院能源与动力学院	2	3	1.0	1.0