低风速下射频等离子体的辉光放电特性

• 作者: 宋慧敏 张耘玮 李应红 王卫民 王蔚龙 贾敏
• 来源期刊: 高电压技术
• 关键词: 射频等离子体 辉光放电 风速 风速传感器 放电特性 气压
• 年，卷（期）: 2016,（6）
• 所属期刊栏目: 高电压新技术
• 页码范围: 1962-1968
• 页数: 7页
• 语种: 中文
• DOI: 10.13336/j.1003-6520.hve.20160616034

摘要

为研究射频等离子体辉光放电特性与风速、气压之间的关系,以等离子体风速传感器为研究背景,建立了射频等离子体辉光放电实验系统,研究了激励器在不同放电间距(0.05 mm和0.08 mm)、不同来流速度(0～45 m/s)、不同电源输出功率(10W和20 W)和不同气压(50～100 kPa)下的放电特性.结果表明:电极间距越小,射频等离子体辉光放电稳定性越高;在固定的电源输出功率和工作频率下,发现了激励器负载电压与来流速度关系的3个阶段:电极过热阶段、线性阶段和放电不稳定阶段;在不同的电源输出功率下,对应不同的风速范围,激励器负载电压与风速具有良好的线性关系;在亚音速气流对应的静压(总压为大气压)范围内,射频等离子体辉光放电对气压变化不敏感.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李应红		227	3034	27.0	42.0
2	宋慧敏		45	612	15.0	23.0
3	贾敏		31	222	10.0	13.0
4	王蔚龙		8	2	1.0	1.0
5	张耘玮		4	0	0.0	0.0
6	王卫民		10	42	4.0	6.0