基于双频激光干涉仪的精密定位系统设计

• 作者: 蒋贵德 陈昊 陈琦
• 来源期刊: 实验室研究与探索
• 学科: 工学
• 关键词: 双频激光干涉仪 气浮导轨 精密定位 前馈控制
• 年，卷（期）: 2016,（11）
• 所属期刊栏目: 仪器设备研制与开发
• 页码范围: 72-75
• 页数: 4页
• 分类号: TP273+.5
• 字数: 2619字
• 语种: 中文

摘要

为实现某些光学部件或高精度测量仪器快速驱动与定位,设计并实现了一套快速精密定位系统.该精密定位系统采用双闭式气浮导轨支撑工作台,直流力矩电机通过谐波减速器减速,以摩擦驱动的方式实现快速定位.以双频激光干涉仪作为最终位置反馈,有效地在定位过程中消除了系统在运动过程中形变和应力释放带来的不确定干扰.采用带有前馈算法的PID控制技术,通过调节各参数,使系统具有快速平滑的响应特性.相对于传统设计方式,在保证精度的同时,降低了系统的复杂程度,也降低了对加工工艺的要求.经过实验测试,定位精度可达176nm,单步稳定所需时间在2 s以内,满足精密定位需求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈琦	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	49	349	10.0	17.0
2	陈昊	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	25	179	8.0	12.0