带状真空电弧磁过滤器等离子体分布特性及制备类金刚石膜研究?

• 作者: 刘红涛 李刘合 罗辑 许亿
• 来源期刊: 物理学报
• 关键词: 离子能量 离子密度 类金刚石膜 拉曼光谱
• 年，卷（期）: 2016,（6）
• 所属期刊栏目: 气体、等离子体和放电物理
• 页码范围: 233-241
• 页数: 9页
• 语种: 中文
• DOI: 10.7498/aps.65.065202

摘要

采用大尺寸矩形石墨靶作为真空阴极电弧源,研制了带状真空电弧磁过滤器。使用法拉第杯和朗缪尔探针对90?弯曲磁过滤器中的带状等离子体出口所在平面的15个区域的离子能量和密度进行了测试；用该带状真空电弧磁过滤器制备了类金刚石膜(diamond-like carbon, DLC)；对相应位置上的类金刚石膜进行了Raman分析和膜厚测量。结果表明：磁过滤器出口所在平面的15个划分区域中离子能量分布接近麦克斯韦分布,离子能量分布与类金刚石膜的结构具有明显的对应特征,离子密度分布与DLC膜膜厚分布相互之间具有相关性。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李刘合	北京航空航天大学机械工程及自动化学院材料加工与控制系	39	653	12.0	25.0
2	许亿	北京航空航天大学机械工程及自动化学院材料加工与控制系	3	11	2.0	3.0
3	刘红涛	北京航空航天大学机械工程及自动化学院材料加工与控制系	2	11	2.0	2.0
4	罗辑	北京航空航天大学机械工程及自动化学院材料加工与控制系	1	2	1.0	1.0