MgO/α-Al2O3单晶衬底上磁控溅射Pt外延薄膜微结构观测分析

• 作者: 姬洪 张婷 张祎杨 朱华星 李鲁涛 王瑞雪 邱晓燕
• 来源期刊: 科学通报
• 关键词: Pt外延薄膜 MgO/α-Al2O3单晶衬底 微结构
• 年，卷（期）: 2016,（9）
• 所属期刊栏目: 论文
• 页码范围: 1008-1015
• 页数: 8页
• 语种: 中文
• DOI: 10.1360/N972015-1130

摘要

采用射频磁控溅射方法在MgO和α-Al2O3单晶基片上沉积制备Pt外延薄膜,研究了衬底晶格结构和沉积氛围对薄膜外延生长晶向和表面形貌的影响.实验研究表明,Pt薄膜外延生长晶向主要受衬底表面晶格结构的影响,沉积氛围主要影响薄膜表面形貌.X射线衍射分析证明了Pt(100)//MgO(100),Pt(111)//MgO(111),Pt(111)//α-Al2O3(0001)和Pt(111)//α-Al2O3 (01'2)的晶面外延关系.扫描电子显微镜观测发现15％氧分压氛围沉积在MgO(111)和α-Al2O3 (01-2)衬底上的Pt(111)外延薄膜以三角形晶粒密排堆叠形成平整致密的膜面,但膜内存在旋转畴缺陷;而15％氧分压氛围沉积在MgO(100)衬底上的Pt(100)外延薄膜无旋转畴缺陷,但薄膜表面出现大小不一的微孔.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张婷		68	264	9.0	14.0
2	王瑞雪		11	2	1.0	1.0
3	邱晓燕		19	12	2.0	3.0
4	李鲁涛		3	0	0.0	0.0
5	张祎杨		3	1	1.0	1.0
6	朱华星		4	1	1.0	1.0
7	姬洪		1	0	0.0	0.0