甚高频激发容性耦合氩等离子体的电子能量分布函数的演变

• 作者: 唐成双 王俊 王涛 辛煜
• 来源期刊: 物理学报
• 关键词: 朗缪尔探针诊断 电子能量概率分布函数 电子加热模式
• 年，卷（期）: 2016,（5）
• 所属期刊栏目: 气体、等离子体和放电物理
• 页码范围: 189-196
• 语种: 中文
• DOI: 10.7498/aps.65.055203

摘要

甚高频激发的容性耦合等离子体由于离子通量和能量的相对独立可控而受到人们的关注.本文采用朗缪尔探针诊断技术测量了40.68 MHz激发的容性耦合Ar等离子体的特性(如电子能量概率分布、电子温度和密度等)随宏观参量的演变情况.实验结果表明,电子能量概率分布随着气压的增加从双麦克斯韦分布逐步转变为单麦克斯韦分布并最终演变为Druyvesteyn分布,而射频激发功率的增加促进了低能电子布居数的增强;在从等离子体放电中心移向边界的过程中,低能电子的布居数显著下降,而高能电子的布居则有所上升;放电极板间距的变化直接导致了等离子体中电子加热模式的转变.另外,我们也对等离子体中的高低能电子密度和温度的分配情况进行了讨论.