BNT-KBT-BT薄膜的制备及外场下电畴翻转

• 作者: 王伟 王现英 祝元坤 苏敏 袁琪 詹科
• 来源期刊: 电子科技
• 学科: 工学
• 关键词: 85BNT-10KBT-5BT薄膜 金属有机物热分解法 PFM 电畴翻转 压电性能
• 年，卷（期）: 2016,（10）
• 所属期刊栏目: 光电·材料
• 页码范围: 136-139,143
• 页数: 5页
• 分类号: TN384|TM223
• 字数: 2524字
• 语种: 中文
• DOI: 10.16180/j.cnki.issn1007-7820.2016.10.039

摘要

采用金属有机物热分解法在Pt/Ti/SiO2/Si基底上制备了0.85(Bi0.5Na0.5)TiO3-0.10(K0.5Bi0.5)TiO3-0.05BaTiO3(85BNT-10KBT-5BT)薄膜.通过X射线衍射仪、扫描探针显微镜(SEM)、压电力显微镜(PFM)等对薄膜的结构和外场下的电畴演变进行了表征及研究.结果表明,该薄膜微观结构主要由钙钛矿相和少量的焦绿石相组成,表面无明显裂纹和孔洞,其最大压电系数d33=150 pm/V;通过PFM观察到在电场作用下,其电畴可实现180°翻转,在力场作用下其电畴可实现90°翻转,并结合微观结构对电畴在外场下的演变机理进行了研究.该研究为铁电薄膜在MEMS中的应用提供了参考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王现英	上海理工大学材料科学与工程学院	22	61	5.0	7.0
2	王伟	上海理工大学材料科学与工程学院	35	157	6.0	11.0
3	祝元坤	上海理工大学材料科学与工程学院	9	14	2.0	3.0
4	詹科	上海理工大学材料科学与工程学院	8	15	2.0	3.0
5	苏敏	上海理工大学材料科学与工程学院	1	0	0.0	0.0
6	袁琪	上海理工大学材料科学与工程学院	1	0	0.0	0.0