MEMS执行机构在微小力传感器量值溯源中的应用

• 作者: 徐立 李倩 李闯 郑培亮 黄振宇
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统(MEMS)执行器 微小力 传感器 量值溯源
• 年，卷（期）: 2016,（11）
• 所属期刊栏目: 应用技术
• 页码范围: 148-150,153
• 页数: 4页
• 分类号: TH71
• 字数: 2554字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13873/J.1000-9787(2016)11-0148-03

摘要

对一种基于微电子机械系统（MEMS）执行器结构的非接触式三维微小力装置测量原理、装置结构、标定方法、力学特性及使用方法等进行分析。结果表明：该装置可产生空间任意方向微小力，实现空间非竖直方向微小力传感器量值溯源；利用该装置对微小力传感器进行量值溯源时，能大幅减小极板间距离测量与控制不确定度对输出微小力影响，装置无需配备复杂昂贵的位移控制与测量辅助装置便可达较高精度。对简化微小力传感器量值溯源装置结构具有较大实际意义。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郑培亮		7	7	2.0	2.0
3	黄振宇		18	23	2.0	4.0
5	李闯		3	3	1.0	1.0
6	徐立		14	3	1.0	1.0
14	李倩		1	2	1.0	1.0