N型半导体金刚石的研究现状与展望

• 作者: 于昆鹏 刘书强 李尚升 王健康 王生艳 许安涛 韩飞
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 金刚石 N型半导体 掺杂
• 年，卷（期）: 2016,（11）
• 页码范围: 2728-2734,2740
• 页数: 8页
• 分类号: TN304
• 字数: 6082字
• 语种: 中文

摘要

作为半导体材料的金刚石具有宽的禁带宽度和高的热导率、介质击穿场强等优异性质,因此其应用前景广阔.P型金刚石发展较N型金刚石成熟.因为缺乏可实用的N型金刚石材料,这使得金刚石半导体器件的应用难以实现.因此N型半导体金刚石成为研究者关注的焦点.论文从掺杂元素和制备方法两方面详细介绍了国内外N型金刚石的研究现状.硼与磷或硫元素共掺杂获得N型金刚石的研究取得了较大进展;利用化学气相沉积法和离子注入法制备N型半导体金刚石研究较多且取得了一定进展.高压高温下的温度梯度法便于掺杂调控金刚石性能,因而利用该法合成N型半导体金刚石大单晶值得尝试.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	许安涛	焦作师范高等专科学校数学学院	18	150	5.0	12.0
2	李尚升	河南理工大学材料科学与工程学院	27	48	5.0	5.0
3	刘书强		3	16	3.0	3.0
4	于昆鹏	河南理工大学材料科学与工程学院	3	9	2.0	3.0
5	韩飞	河南理工大学材料科学与工程学院	2	4	1.0	2.0
6	王生艳	河南理工大学材料科学与工程学院	1	4	1.0	1.0
7	王健康	河南理工大学材料科学与工程学院	1	4	1.0	1.0