谐振式MEMS磁传感器接口电路设计

• 作者: 刘松 徐德辉 熊斌 马颖蕾 高华磊
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 微系统磁传感器 直接数字频率合成器驱动 同步解调 接口电路
• 年，卷（期）: 2016,（11）
• 所属期刊栏目: 设计与制造
• 页码范围: 87-89,93
• 页数: 4页
• 分类号: TN709
• 字数: 2732字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13873/J.1000-9787(2016)11-0087-03

摘要

介绍了一种谐振式微系统（MEMS）磁传感器的接口电路，电路由驱动电路和信号检测处理电路组成。驱动电路采用直接数字频率合成器（DDS）产生磁传感器驱动信号，同时为检测电路提供同步信号；信号检测处理电路对磁传感器输出信号和 DDS 产生的同步信号进行同步解调，最终得到所需的磁场信号。最后对电路的性能和测试结果进行分析和总结。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	熊斌	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	54	412	11.0	16.0
2	刘松	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	50	392	11.0	18.0
3	马颖蕾	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	2	8	2.0	2.0
4	徐德辉	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	12	28	3.0	4.0
5	高华磊	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	1	3	1.0	1.0