热丝CVD法沉积固态扩散源制备晶硅太阳电池p+/n+发射极研究

• 作者: 周浪 宿世超 岳之浩 王涛 田罡煜 袁吉仁 韩宇哲 高超 黄海宾
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 工学
• 关键词: HWCVD 晶硅太阳电池 固态扩散源 发射极 方阻
• 年，卷（期）: 2016,（11）
• 页码范围: 2591-2595
• 页数: 5页
• 分类号: TN305
• 字数: 2724字
• 语种: 中文

摘要

为进一步提高晶硅太阳能电池发射极的性能,本文提出了一种新的发射极制备技术-低温CVD法沉积固态薄膜扩散源并进行高温扩散.采用热丝化学气相沉积法(HWCVD)在单晶硅片上沉积重掺杂硅基薄膜作为固态扩散源,然后在空气氛围下的管式炉中进行高温扩散,最后用稀HF溶液去除表面的BSG/PSG.通过掺磷薄膜扩散在P型单晶硅片上制备了方阻在50～250 Ω/□范围内可控的n+型发射极;通过掺硼薄膜扩散在N型硅片上制备了方阻在150 ～600Ω/□□范围内可控的p+型发射极.并且通过在源气体中加入CO2作为氧源,实现了扩散后硅片表面残留扩散源层的彻底去除.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周浪	南昌大学光伏研究院	110	1018	16.0	26.0
2	王涛	南昌大学光伏研究院	22	56	4.0	7.0
3	袁吉仁	南昌大学光伏研究院	24	74	5.0	7.0
4	黄海宾	南昌大学光伏研究院	15	40	4.0	6.0
5	宿世超	南昌大学光伏研究院	2	2	1.0	1.0
6	韩宇哲	南昌大学光伏研究院	2	2	1.0	1.0
7	田罡煜	南昌大学光伏研究院	4	4	2.0	2.0
8	高超	南昌大学光伏研究院	14	10	2.0	2.0
9	岳之浩	南昌大学光伏研究院	4	8	2.0	2.0