挠性加速度计石英摆片的微运动仿真分析

• 作者: 孙飞 李强 连德浩 陈雪冬
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 石英挠性加速度计 有限元 模态分析
• 年，卷（期）: 2016,（11）
• 所属期刊栏目: 研究与探讨
• 页码范围: 15-18
• 页数: 4页
• 分类号: TP391
• 字数: 2739字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13873/J.1000-9787(2016)11-0015-04

摘要

加速度计石英摆片的微运动仿真分析可以获取帮助提高石英挠性加速度计生产质量的技术手段和途径。从加速度计石英摆片的物理模型入手，用有限元方法对摆式加速度计的关键部件石英摆片进行静力计算与模态分析，直观地显示了石英摆片结构的应力场与形变场，获得了各阶自然频率和阵型。结果表明：采用有限元分析的方法能够辅助提高加速计的性能。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙飞	西南科技大学信息工程学院	6	31	3.0	5.0
2	连德浩	西南科技大学信息工程学院	4	8	2.0	2.0
3	李强	西南科技大学信息工程学院	56	161	6.0	10.0
4	陈雪冬	中国工程物理研究院电子工程研究所	13	66	5.0	7.0