溅射功率对不锈钢衬底ZnO∶Al薄膜性能的影响

• 作者: 吴浪 张翠媛 李姗 李心茹 杨恢东 王河深
• 来源期刊: 金属热处理
• 学科: 工学
• 关键词: 直流磁控溅射 ZAO薄膜 不锈钢衬底 溅射功率
• 年，卷（期）: 2016,（7）
• 所属期刊栏目: 表面改性
• 页码范围: 87-90
• 页数: 4页
• 分类号: TB333|O484
• 语种: 中文
• DOI: 10.13251/j.issn.0254-6051.2016.07.021

摘要

采用直流磁控溅射技术,以掺Al为2%的ZnO陶瓷靶为靶材,通用的304不锈钢为衬底,制备了一系列ZnO∶Al薄膜,研究了溅射功率对样品薄膜结构和表面形貌、光学特性的影响。结果表明：制备的薄膜都为六方纤锌矿结构,并有高度的c轴择优取向；溅射功率对薄膜的性能有显著的影响,即随着溅射功率的增大,从35 W到80 W,晶粒尺寸先增大后减小,薄膜表面陷光结构先变好后变坏,最优值出现在溅射功率为65 W时,此时薄膜对波长小于360 nm的光吸收率约为91%。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨恢东	暨南大学信息科学技术学院	28	154	7.0	11.0
2	李姗	暨南大学信息科学技术学院	8	14	2.0	3.0
3	吴浪	暨南大学信息科学技术学院	7	14	2.0	3.0
4	李心茹	暨南大学信息科学技术学院	7	14	2.0	3.0
5	王河深	暨南大学信息科学技术学院	8	14	2.0	3.0
6	张翠媛	暨南大学信息科学技术学院	2	1	1.0	1.0