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退火对熔石英表面损伤修复点损伤增长的影响
退火对熔石英表面损伤修复点损伤增长的影响
作者:
刘春明
向霞
周强
廖威
王海军
蒋勇
袁晓东
邱荣
高翔
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
熔石英
损伤增长
裂纹扩展
退火
摘要:
研究不同参数退火处理的熔石英表面损伤修复点再次损伤及损伤增长时的形貌和损伤增长率的差异,同时与未退火的基底及修复点的损伤增长行为对比.结果表明:未退火的修复点再次损伤后,损伤点周围的裂纹会在应力的作用下继续扩展,导致更加严重、尺寸更大的损伤点;当退火处理将修复点周围应力导致的光程差控制在25 nm左右时,虽损伤增长速率较快,但可有效抑制裂纹扩展.同时研究结果也表明只要退火过程能将修复点周围应力导致的光程差控制在10 nm以下,其损伤增长率与基底的损伤增长率没有明显差异,从而可以有效控制修复点的损伤增长速率.研究结果可为分析应力对修复点损伤增长的影响、指导退火参数的优化提供参考.
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文献信息
篇名
退火对熔石英表面损伤修复点损伤增长的影响
来源期刊
物理学报
学科
关键词
熔石英
损伤增长
裂纹扩展
退火
年,卷(期)
2016,(4)
所属期刊栏目
电磁学、光学、声学、传热学、经典力学和流体动力学
研究方向
页码范围
131-138
页数
分类号
字数
语种
中文
DOI
10.7498/aps.65.044209
五维指标
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2016(0)
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损伤增长
裂纹扩展
退火
研究起点
研究来源
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引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
物理学报
主办单位:
中国物理学会
中国科学院物理研究所
出版周期:
半月刊
ISSN:
1000-3290
CN:
11-1958/O4
开本:
大16开
出版地:
北京603信箱
邮发代号:
2-425
创刊时间:
1933
语种:
chi
出版文献量(篇)
23474
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