基于Si-BCB工艺Ka波段双模带通滤波器

• 作者: 孙晓玮 孙浩 方针 陈雯芳
• 来源期刊: 电子测量技术
• 学科: 工学
• 关键词: Si-BCB工艺 SIR滤波器 双模 宽边耦合
• 年，卷（期）: 2016,（11）
• 所属期刊栏目: 【研究与设计】
• 页码范围: 26-29,50
• 页数: 5页
• 分类号: TN713
• 字数: 1927字
• 语种: 中文

摘要

介绍了一种应用于毫米波晶圆级集成基于Si‐BCB工艺的Ka波段双模带通滤波器。微带线结构的全波长谐振器具有低辐射特性，全波长环形阶跃阻抗谐振器（step impedance resonator ，SIR）有两种正交谐振模式，可以减小滤波器尺寸。通过对基于环形谐振器的双模滤波器进行奇偶模分析，确定谐振器的设计参数。采用宽边耦合结构设计输入输出端口，具有高耦合度。仿真结果表明中心频率35 GHz ，通带内插损1．2 dB ，回波损耗优于30 dB ，BW3 dB为15％。最后，采用Si‐BCB工艺制作滤波器并完成测试。测试结果为中心频率33．3 G Hz ，通带内插损1．17 dB ，回波损耗优于30 dB ，BW3 dB为18％。测试结果与仿真结果基本吻合。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙晓玮	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	97	828	16.0	23.0
2	方针	上海大学通信与信息工程学院	8	36	4.0	5.0
3	孙浩	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	29	72	4.0	6.0
4	陈雯芳	上海大学通信与信息工程学院	2	4	2.0	2.0