微区电沉积技术及其研究进展?

• 作者: 刘德荣 刘磊 吴忠 徐晨 胡文彬
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: 微区电沉积 3D结构 技术概况
• 年，卷（期）: 2016,（10）
• 所属期刊栏目: 综述?进展
• 页码范围: 10036-10043
• 页数: 8页
• 分类号: TB31
• 字数: 4497字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-9731.2016.10.007

摘要

微纳尺度的三维结构构造技术存在成本高、效率低、环境依赖性强等问题，微区电沉积技术的发展在一定程度上解决了上述问题。介绍了微区电沉积的技术原理、过程控制以及研究现状，讨论了微区电沉积研究中的参数优化、过程模拟与技术发展，并对微区电沉积技术未来的研究重点与发展趋势进行了展望。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡文彬	上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室	82	1984	25.0	41.0
2	刘磊	上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室	83	1038	17.0	29.0
3	刘德荣	上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室	6	47	4.0	6.0
4	徐晨	上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室	25	51	4.0	5.0
5	吴忠	上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室	4	11	2.0	3.0