基于物理冶金多晶硅太阳电池的磷扩散工艺

• 作者: 和江变 李健 邹凯 郭凯华 郭永强
• 来源期刊: 电源技术
• 学科: 工学
• 关键词: 冶金多晶硅 太阳电池 扩散工艺 方块电阻 均匀性
• 年，卷（期）: 2016,（9）
• 所属期刊栏目: 研究与设计
• 页码范围: 1784-1787
• 页数: 4页
• 分类号: TM615
• 字数: 4006字
• 语种: 中文

摘要

作为制备昌体硅太阳电池的核心技术,扩散后方块电阻的均匀性显得非常重要.通过对现有晶体硅太阳电池扩散工艺进行改进,提出一种间断性变温磷扩散工艺.此工艺应用于物理冶金多晶硅太阳电池制备中,所形成的p-n结表面杂质浓度低,杂质分布均匀,提高了硅片少子寿命和方块电阻的均匀性,有利于电子的收集,减少了太阳电池因复合造成的效率损失,从而提高电池片最终光电转换效率.与现有工艺相比,减少了三氯氧磷、干氧的使用量,缩短了工艺时间,节约了生产成本.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李健	内蒙古大学物理科学与技术学院	36	200	7.0	12.0
5	邹凯		3	7	2.0	2.0
6	和江变		4	7	2.0	2.0
7	郭凯华		1	2	1.0	1.0
8	郭永强		1	2	1.0	1.0