红外膜厚测量仪的校准问题

• 作者: 刘义 张敬锋
• 来源期刊: 同行
• 学科: 工学
• 关键词: 红外厚膜测量仪 校准 问题
• 年，卷（期）: 2016,（6）
• 页码范围: 327-
• 页数: 1页
• 分类号: TH741

摘要

所谓红外膜厚测量仪是一种能够测量外延层厚度和掺杂浓度的精密仪器,但是我国现在没有进行严格明确的检测和校准规范。本文通过选择一种测量显微镜的标定样块,通过使用样块进行校准外膜厚测量仪,因此能够达到国家要求的标准。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张敬锋		2	0	0.0	0.0
2	刘义		2	0	0.0	0.0