声表面波传感器温度频率特性的数值分析

• 作者: 张娜 李莺歌 杜东兴 袁世魁 马连湘
• 来源期刊: 化工学报
• 关键词: 声表面波传感器 数值模拟 热传导 膜 微电子学 温度频率特性
• 年，卷（期）: 2016,（z1）
• 所属期刊栏目: 流体力学与传递现象
• 页码范围: 159-165
• 页数: 7页
• 分类号: TK311
• 语种: 中文
• DOI: 10.11949/j.issn.0438-1157.20160555

摘要

利用ANSYS软件对声表面波传感器进行温度频率特性的数值模拟研究.分析了在一定压力情况下,基于氮化铝压电薄膜铝叉指换能器的延迟型传感器结构内部的温度有限元分布情况.结果表明外界自然对流对传感器内部的温度场及应力场分布影响很小.并模拟计算出温度与输出串联谐振频率变化的关系,通过数据拟合得出,SAW传感器的输出谐振频率与环境温度变化呈良好的线性关系,因此可应用于温度的精确测试.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马连湘	青岛科技大学机电工程学院	133	724	13.0	17.0
2	张娜	青岛科技大学机电工程学院	28	100	6.0	8.0
3	杜东兴	青岛科技大学机电工程学院	6	43	3.0	6.0
4	李莺歌	青岛科技大学自动化与电子工程学院	7	43	3.0	6.0
8	袁世魁	青岛科技大学机电工程学院	1	3	1.0	1.0