基于微型控制器的原子光刻系统自动化控制研究

• 作者: 刘逸轩
• 来源期刊: 现代电子技术
• 关键词: 原子光刻 温度控制 数据采集 USB接口
• 年，卷（期）: 2016,（13）
• 所属期刊栏目: 电子技术应用
• 页码范围: 124-127
• 页数: 4页
• 分类号: TN305.7-34|TM417
• 语种: 中文
• DOI: 10.16652/j.issn.1004-373x.2016.13.030

摘要

原子光刻系统的设备庞大而复杂，在实验过程中温度及稳频光等参数都需要监视和控制。针对目前多采用人员值守的方式对设备进行操控导致实验效率低下的现状，介绍了原子沉积原理和原子沉积实验装置的构造及主要功能，提出了原子沉积实验装置中温度控制方案和稳频光的差分信号数据采集方案。通过完成对温度信号和稳频光信号等实验数据的自动采集与记录，实现了原子光刻系统的温控系统自动化和激光稳频系统的远程控制。该方案不仅提高了实验效率，而且对USB开发人员和自动化研究人员也具备一定的参考价值。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘逸轩	海口经济学院公共课部	6	5	1.0	2.0