工业四氯化硅四级精馏的研究

• 作者: 周玲英 相文强
• 来源期刊: 当代化工
• 学科: 工学
• 关键词: 工业四氯化硅 高聚物 堵塞 四级精馏
• 年，卷（期）: 2016,（3）
• 所属期刊栏目: 工艺与装备
• 页码范围: 599-601
• 页数: 3页
• 分类号: TQ028
• 字数: 2259字
• 语种: 中文

摘要

高纯四氯化硅是热氢化、催化氢化、等离子氢化、光纤生产的原料，其品质要求达到9N。在改良西门子法生产多晶硅过程中，副产物工业四氯化硅，其中的各项金属杂质，硼磷杂质含量较高，并且含有高聚物，硅粉。采用常规的精馏法，吸附法，易出现堵塞，采用络合法，易出现络合剂分离不开的问题。通过采用四级精馏，一级脱重，去除其中的高聚物和大量的金属杂质，二级再脱重，去除金属杂质，回流采出轻组分，侧线采出产品，进入三级脱轻塔，去除其中的三氯氢硅，塔釜依靠压差，进入四级脱重塔，塔顶得到高纯四氯化硅产品。四级精馏得到的高纯四氯化硅，避免外杂质的引入，易得到9N 产品。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周玲英		3	6	1.0	2.0
2	相文强		1	5	1.0	1.0