非晶硅薄膜和结晶硅薄膜的拉曼光谱

• 作者: 何佳 张坤 张霞 杨玉庆 马希文
• 来源期刊: 实验室研究与探索
• 学科: 工学
• 关键词: 非晶硅薄膜 结晶硅薄膜 准分子激光晶化 拉曼光谱 拉曼位移
• 年，卷（期）: 2016,（8）
• 所属期刊栏目: 实验技术
• 页码范围: 33-36
• 页数: 4页
• 分类号: TN386.1|O484.4
• 字数: 4373字
• 语种: 中文

摘要

以玻璃为衬底,利用等离子体增强化学气相沉积工艺制备了非晶硅(α-Si)薄膜,然后通过准分子激光晶化方式获得结晶硅(nc-Si)薄膜,采用激光显微拉曼光谱仪对非晶硅薄膜、结晶硅薄膜这两类薄膜的拉曼光谱效应和结晶质量等进行了定量分析.结果表明:当激光功率达到某一阈值时,非晶硅样品发生了晶化,即由非晶硅转化成了结晶硅,特征峰发生了46.8 cm-1的位移,薄膜的结晶性质发生根本变化.而结晶硅样品在激光功率变化过程中仅因能量积聚造成了薄膜内应力变化,激光能量消散后内应力恢复原来的状态,特征峰在±5.4 cm-1位移内波动,薄膜的结晶性质并未发生明显变化,表明薄膜处于稳定的晶态结构.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张霞	上海工程技术大学材料工程学院	19	27	3.0	4.0
2	何佳	上海工程技术大学材料工程学院	19	37	3.0	5.0
3	马希文	上海工程技术大学材料工程学院	1	2	1.0	1.0
4	杨玉庆	上海工程技术大学材料工程学院	1	2	1.0	1.0
5	张坤	上海工程技术大学材料工程学院	1	2	1.0	1.0