基于偏振光的激光干涉仪系统设计

• 作者: 王丽玮 陈长春
• 来源期刊: 现代工业经济和信息化
• 学科: 工学
• 关键词: 偏振光 激光干涉仪 系统设计
• 年，卷（期）: 2016,（11）
• 所属期刊栏目: 工程技术
• 页码范围: 80-81
• 页数: 2页
• 分类号: TH741
• 字数: 774字
• 语种: 中文
• DOI: 10.16525/j.cnki.14-1362/n.2016.11.34

摘要

近年来,随着科技的不断发展,在精密机械、集成电路生产等许多精密加工工业领域中,精密测量的要求越来越高.阐述了基于偏振光的集成迈克尔逊干涉仪系统的原理与方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王丽玮	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	1	2	1.0	1.0
2	陈长春	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	2	3	1.0	1.0