微机械制造中对精密超精密加工技术的有效应用

• 作者: 陈治
• 来源期刊: 河南科技
• 学科: 航空航天
• 关键词: 微机电系统 精密超精密加工技术 微机械制造
• 年，卷（期）: 2016,（23）
• 所属期刊栏目: 工业技术
• 页码范围: 85-86
• 页数: 2页
• 分类号: V261
• 字数: 2173字
• 语种: 中文

摘要

最近几年,我国的微机电系统和机械零件制造业在社会经济发展的影响下,呈现出突飞猛进的发展势头.精密超精密加工技术也对我国的航天、国防和微电子工业等行业发展起到了至关重要的促进作用.因此,在微机械制造中运用精密超精密加工技术,不但能够使我国的微机械零件制造水平得到提升,还能带动我国微机械制造业进一步的发展.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈治		15	23	3.0	4.0