金属氧化物(IGZO)TFT-LCD的工艺技术发展趋势及方向

• 作者: 黄伟剑
• 来源期刊: 世界有色金属
• 学科: 工学
• 关键词: 铟镓锌氧化物 TFT-LCD 工艺技术
• 年，卷（期）: 2016,（2）
• 所属期刊栏目: 综合
• 页码范围: 108-109
• 页数: 2页
• 分类号: TM271
• 语种: 中文

摘要

铟镓锌氧化物IGZO(indium gallium zinc oxide)是用于新一代薄膜液晶显示屏薄膜晶体管沟道层的材料.研究铟镓锌金属氧化物IGZO在TFT-LCD制造应用中的工艺技术发展趋势及方向.分析了铟镓锌氧化物IGZO在TFT-LCD中的作用和使用现状,分析了TFT-LCD液晶显示器的功能特性和技术特点.结合金属氧化物IGZO的应用,阐述了未来TFT-LCD液晶显示器发展的趋势和方向,TFT-LCD的工艺技术将向着高集成度,高环保性、高分辨率、高水平垂直角、高显示亮度、长使用寿命周期等方向发展,随着大面积低温多晶硅TFT-LCD的使用,TFT-LCD发展空间广阔,将迅速成为当前和未来液晶显示器的主流产品.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄伟剑		3	4	1.0	2.0