自支撑二值化Beynon-Gab or波带片的制备及其单级聚焦特性?

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二值化Beynon-Gabor波带片

自支撑

衍射性能

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篇名	自支撑二值化Beynon-Gab or波带片的制备及其单级聚焦特性?
来源期刊	物理学报	学科
关键词	二值化Beynon-Gabor波带片自支撑衍射性能聚焦离子束直写技术
年，卷（期）	2016,（12）	所属期刊栏目	原子和分子物理学
研究方向		页码范围	124207-1-124207-7
页数	1页	分类号
字数		语种	中文
DOI	10.7498/aps.65.124207