一种探针台自动定位方法的研究与实现

• 作者: 刘烽 赵明宇 黄金兰
• 来源期刊: 计算机测量与控制
• 关键词: 探针台 晶圆 螺旋定位 第一点 特殊点
• 年，卷（期）: 2016,（2）
• 所属期刊栏目: 设计与应用
• 页码范围: 261-263
• 页数: 3页
• 分类号: TP23
• 语种: 中文
• DOI: 10.16526/j.cnki.11-4762/tp.2016.02.072

摘要

探针台希望在上片后无需人工对准,就能从晶圆的第一个晶粒(第一点)开始检测,然而晶圆上片后,探针下方的开始位置往往并不是第一点;为了让第一点快速的移至探针下方,对平台的运行轨迹进行了研究,提出了螺旋定位法的概念,以平台上开始位置为中心,螺旋式步进运行,配合镜头的图像识别技术,一步一识别,逐步扩大范围,直至在镜头视野中找到晶圆中唯一的特殊晶粒(特殊点);由于第一点与特殊点的位置相对固定,所以找到了特殊点即找到了第一点;此方法经过算法分析及整合编程后,进行了多次试验,并交付客户使用,第一点都能快速移至探针正下方且长时间运行稳定;此自动定位方法不仅节省了人力成本,提高了定位精度,又大大地提升了探针台的工作效率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄金兰		1	0	0.0	0.0
2	赵明宇		4	0	0.0	0.0
3	刘烽		2	1	1.0	1.0