溶胶-凝胶法制备氧化钨薄膜的研究

• 作者: 刘英 王兵 王速
• 来源期刊: 电子测试
• 关键词: WO3纳米薄膜 溶胶-凝胶法 气体敏感
• 年，卷（期）: 2016,（16）
• 所属期刊栏目: 测试工具与解决方案
• 页码范围: 160-160,156
• 页数: 2页
• 字数: 1482字
• 语种: 中文

摘要

本文以钨酸盐为原料利用溶胶凝胶法，在陶瓷衬底制备WO3敏感薄膜，于500℃退火。接着对制备好的薄膜进行X射线衍射与电子显微测试，观察到薄膜表面呈较规则的纳米多孔结构。接着对NO2、H2、乙醇等气体进行敏感测试，测试证明薄膜对H2、乙醇敏感性较差，对NO2敏感性良好。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王速		3	2	1.0	1.0
2	刘英		3	2	1.0	1.0
3	王兵		5	22	1.0	4.0