直流磁控溅射沉积N-Ti-TiN镀膜耐蚀性能

• 作者: 侯义飞 吴明忠 张德秋 李慕勤 王晶彦
• 来源期刊: 广东化工
• 学科: 工学
• 关键词: 直流磁控溅射 N-Ti-TiN镀膜 腐蚀性能
• 年，卷（期）: 2016,（21）
• 所属期刊栏目: 试验与研究
• 页码范围: 10-12,21
• 页数: 4页
• 分类号: TB383.2
• 字数: 2035字
• 语种: 中文

摘要

通过固定N层和TiN层的沉积时间,改变Ti层沉积时间,在AZ31镁合金表面采用直流磁控溅射技术制备N-Ti-TiN镀膜,研究镀钛时间对N-Ti-TiN镀膜的形貌、腐蚀性能的影响.利用扫描电镜(SEM)、能谱仪等手段分析镀膜的表面形貌和成分,通过动电位极化试验,研究镀膜的耐蚀性.结果表明:改变不同镀钛时间获得的N-Ti-TiN镀膜的厚度在1～1.4 μm之间,镀膜分布均匀,随着镀钛膜沉积时间的增加镀膜的厚度增加,膜间结合性好;与镁合金基体相比,不同镀钛时间的N-Ti-TiN镀膜均能提高材料的耐蚀性,镀钛时间为20 min的N-Ti-TiN镀膜的耐蚀性更为优异.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴明忠	佳木斯大学黑龙江省高校生物医学材料重点实验室	49	107	6.0	7.0
2	李慕勤	佳木斯大学黑龙江省高校生物医学材料重点实验室	172	582	13.0	18.0
3	王晶彦	佳木斯大学黑龙江省高校生物医学材料重点实验室	23	22	3.0	4.0
4	张德秋	佳木斯大学黑龙江省高校生物医学材料重点实验室	16	9	2.0	2.0
5	侯义飞	佳木斯大学黑龙江省高校生物医学材料重点实验室	1	0	0.0	0.0