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硅基微机械加工技术
硅基微机械加工技术
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摘要：
就微电子机械系统而言,硅基微机械加工技术是其重要的实现技术之一.这种技术的应用是微电子机械系统形成良好性能的重要保障.本文从硅基微机械加工技术的种类入手,对这种加工技术的应用进行分析和研究.
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研究主题发展历程
节点文献
硅基
微机械加工技术
应用
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研究来源
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期刊影响力
电子世界
主办单位：
中国电子学会
出版周期：
半月刊
ISSN：
1003-0522
CN：
11-2086/TN
开本：
大16开
出版地：
北京市
邮发代号：
2-892
创刊时间：
1979
语种：
chi
出版文献量（篇）
36164
总下载数（次）
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