基于压电陶瓷的纳米定位与扫描平台模型辨识算法研究

• 作者: 戴敬 邵萌 郭兴旺
• 来源期刊: 中国新通信
• 关键词: 纳米定位与扫描平台 bouc-wen模型 最小二乘法 参数辨识
• 年，卷（期）: 2016,（22）
• 所属期刊栏目: 互联网+健康
• 页码范围: 147-148
• 页数: 2页
• 字数: 2492字
• 语种: 中文

摘要

针对纳米定位与扫描平台具有的迟滞特性,使得运动平台输出位移变差的问题,文章基于Bouc-wen模型建立了纳米与扫描平台的模型,采用最小二乘法实现了模型参数辨识.通过传统PID控制,实现信号实时跟踪.实验结果表明,所建模型对信号的跟踪,大约需要经过2ms便可达到稳定状态,稳态误差保持在4nm之内,因此,可以达到降低输出位移误差的效果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	戴敬	沈阳建筑大学微纳检测与运动控制实验室	26	111	7.0	9.0
2	邵萌	沈阳建筑大学微纳检测与运动控制实验室	25	67	6.0	7.0
3	郭兴旺	沈阳建筑大学信息与控制工程学院	1	0	0.0	0.0