浅析TFT-LCD工厂特气库安全监控技术运用

• 作者: 周贺 朱振师 翟超
• 来源期刊: 电子世界
• 关键词: TFT-LCD 特气库 安全监控
• 年，卷（期）: 2016,（12）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 100,140
• 页数: 2页
• 字数: 1866字
• 语种: 中文

摘要

特气库是在TFT-LCD制程过程中重要的生产场所之一,是TFT制程的主要工艺气体集中储存和供应区域.本文分析特气库存在的安全生产风险,提出安全监控技术措施,并从公司实际出发,分析特气安全管理的重要性与必要性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱振师		2	0	0.0	0.0
2	翟超		2	0	0.0	0.0
3	周贺		1	0	0.0	0.0