纳米集成电路大生产中新工艺技术现状及发展趋势

• 作者: 刘志鹏 刘盛意
• 来源期刊: 同行
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米集成电路 新工艺技术 现状 趋势
• 年，卷（期）: tx_2016,（12）
• 页码范围: 5-
• 页数: 1页
• 分类号: TN405

摘要

我国经济呈现出良好的发展趋势,进一步促进科学技术得以不断加快发展步伐,继而带动微电子行业的快速发展,纳米集成电路是当前应用范围最广,也是效果最好的一种电路传输形式。从目前情况分析,集成电路中应用新技术对其长远发展来说既是机遇,同时也是挑战,文章着重阐述了微纳电子产业发展情况,并论述现阶段国内集成电路产业技术研究现状,最后论述了纳米集成电路未来发展趋势。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘盛意		10	2	1.0	1.0
2	刘志鹏		1	0	0.0	0.0